纳米级精密定位工作台
主要特点
·采用压电陶瓷驱动；
·纳米级位移分辨率；
·重复定位精度高；
·优良的频率响应特性；
·采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构；
·可内置 LVDT 或电阻应变片式微位移传感器，方便实现死循环控制；
·机体材料可选择铝合金、 Invar 合金等，适用于不同的应用场合；
·采用电火花、线切割等加工工艺，以严格保证加工精度；
·从一维到六维六十余种型号，已形成系列产品；
·采用先进的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力。
选型说明
| 运动自由度 | 1：一个自由度 |
| 2：二个自由度 | |
| 3：三个自由度 | |
| 4：四个自由度 | |
| 5：五个自由度 | |
| 6：六个自由度 | |
| 结构形式 | J：集成式结构 |
| M：模块组合式 | |
| 内部传感器类型 | N：无传感器 |
| R：电阻应变片 | |
| L：LVDT传感器 | |
| 工作台材质 | L：铝合金 |
| I：INVAR合金 | |
| 产品序号 | 001：10um直接驱动 |
| 002：25um直接驱动 | |
| 003：50um直接驱动 | |
| 102：50um放大机构 | |
| 103：100um放大机构 | |
| 104：200um放大机构 |
定制说明
由于应用领域的广泛性，用户可以采用定制的方式以得到更有针对性的产品。如果产品样本中未包含您所需要的产品类型，您可以与我们联系并提供您详细的技术要求，以便我们能为您提供更好的服务。