MPT-1JL系列(一维闭环工作台)
主要参数
| MPT-1JLL/I001 | MPT-1JLL/I002 | MPT-1JLL/I003 | MPT-1JLL/I102 | MPT-1JLL/I103 | MPT-1JLL/I104 | |
| 运动自由度 | X | X | X | X | X | X |
| 行程范围 (μ m±10%) |
10 | 25 | 50 | 50 | 100 | 200 |
| 位移分辨率 (nm) |
1 | 2.5 | 5 | 5 | 10 | 20 |
| 重复定位精度 (nm) |
10 | 25 | 50 | 50 | 100 | 200 |
| 运动方向 最大推力 (N) |
1000 | 1000 | 1000 | 300 | 300 | 300 |
| 运动方向 最大拉力 (N) |
30 /60 | 70/90 | 100/120 | 50/50 | 50/50 | 50/50 |
| 最大负载 (Kg) |
2.5/3 | 2.5/3 | 1.5/1.5 | 1.5/1.5 | 1.5/1.5 | 1/1 |
| 固有频率 (Hz) |
1450/900 | 900/750 | 400/200 | 600/450 | 300/200 | 150/100 |
| 重量 (g±5% ) |
200 | 280/840 | 700/2100 | 600/1500 | 850/2400 | 1100/3200 |
| 工作电压 (V) |
0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0-～150 | 0～150 |
| 工作温度范围 (℃) |
-20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 |
| 外型尺寸 A×C (mm) |
70×60 | 90×80 | 120×108 | 100×90 | 120×110 | 140×130 |
| 外型尺寸 K×J (mm) |
20×21.5 | 22×24.5 | 24×26.5 | 22×24.5 | 22×24.5 | 22×24.5 |
| 运动部分 B×D (mm) |
30×30 | 45×45 | 70×70 | 45×35 | 60×50 | 70×53.5 |
| 运动部分 E×F (mm) |
22×22 | 38×38 | 60×60 | 37×27 | 50×40 | 60×43.5 |
| 运动部分 G×H (mm) |
32.5×23 | 40×23 | 57×23 | 43.95×5 | 52×5 | 59.25×5 |
| 安装尺寸 M×L (mm) |
4.5×8 | 4.5×8 | 5.5×10 | 4.5×8 | 4.5×8 | 4.5×8 |
| 安装尺寸I (mm) |
M3 | M4 | M4 | M4 | M4 | M4 |
* 指采用进口压电陶瓷时的工作电压，如采用国产压电陶瓷，则工作电压为 0 ～ 200V 。