MPT-2JR 系列 (二维闭环工作台)
主要参数
| MPT-2JRL/I001 | MPT-2JRL/I002 | MPT-2JRL/I003 | MPT-2JRL/I102 | MPT-2JRL/I103 | MPT-2JRL/I104 | |
| 运动自由度 | X,Y | X,Y | X,Y | X,Y | X,Y | X,Y |
| 行程范围 (μm±10%) |
10X10 | 25X25 | 50X50 | 50X50 | 100X100 | 200X200 |
| 位移分辨率 (nm) |
1 | 2.5 | 5 | 5 | 10 | 20 |
| 重复定位精度 (nm) |
10 | 25 | 50 | 50 | 100 | 200 |
| 运动方向 最大推力 (N) |
1000 | 1000 | 1000 | 300 | 300 | 300 |
| 运动方向 最大拉力 (N) |
200/200 | 250/250 | 250/250 | 40/40 | 45/45 | 50/50 |
| 最大负载 (Kg) |
0.5/1 | 0.5/1 | 0.5/1 | 0.5/1 | 0.5/1 | 0.5/1 |
| 固有频率 (Hz) |
750 | 500 | 400 | 400 | 200 | 140 |
| 重量材料 (g±5%) |
300/900 | 400/1200 | 800/2400 | 750/2200 | 950/2700 | 1300/3500 |
| 工作电压* (V) |
0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 |
| 工作温度范围 (℃) |
-20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 |
| 外型尺寸 A×C (mm) |
110×100 | 160×150 | 200×188 | 130×120 | 150×140 | 170×160 |
| 外型尺寸 K×J (mm) |
20×21.5 | 22×24.5 | 24×26.5 | 22×24.5 | 22×24.5 | 22×24.5 |
| 运动部分 B×D (mm) |
30×30 | 45×45 | 70×70 | 40×40 | 45×45 | 50×50 |
| 运动部分 E×F (mm) |
22×22 | 38×38 | 60×60 | 30×30 | 35×35 | 40×40 |
| 运动部分 G×N (mm) |
55×10 | 80×10 | 100×10 | 70×10 | 80×10 | 90×10 |
| 安装尺寸 M×L (mm) |
4.5×8 | 4.5×8 | 5.5×10 | 4.5×8 | 4.5×8 | 4.5×8 |
| 安装尺寸I (mm) |
M3 | M4 | M4 | M4 | M4 | M4 |
* 指采用进口压电陶瓷时的工作电压，如采用国产压电陶瓷，则工作电压为 0 ～ 200V。