MPT-3JR系列(三维集成式工作台)
主要参数
| MPT-3JRL/I001 | MPT-3JRL/I003 | MPT-3JRL/I103 | 单位 | |
| 运动自由度 | Z,θx,θy | Z,θx,θy | Z,θx,θy | |
| 转角范围 | ± 0.4 | ± 0.8 | ± 1.0 | mrad±10% |
| 位移范围 | 10 | 25 | 50 | μm±10% |
| 角位移分辨率 | 0.4 | 0.8 | 1 | μrad±10% |
| 位移分辨率 | 0.2 | 0.4 | 0.5 | nm |
| 最大负载 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | Kg |
| 固有频率 | 1000/800 | 1000/800 | 800/600 | Hz |
| 重量 | 250 | 400 | 550/1400 | g±5% |
| 工作电压 | 0-150 | 0-150 | 0-150 | V |
| 工作温度范围 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | ℃ |
| 外型尺寸 A | 60 | 80 | 100 | mm |
| 外型尺寸 B | 50 | 50 | 50 | mm |
| 外型尺寸 C | 40 | 40 | 40 | mm |