MPT-6JR 系列 (六维集成式工作台)
主要参数
| MPT-6JRI001 | 单 位 | |
| 运动自由度 | X Y Z θx θy θz | μ m±20% |
| 直线运动范围 | 20 | mrad±20% |
| 转角范围 | 0.5 | nm |
| 位移分辨率 | 2 | nm |
| 重复定位精度 | 20 | N/μm±20% |
| 刚度 | 50 | Kg |
| 最大负载 | 5 | Hz±20% |
| 固有频率 | 1500 | ℃ |
| 工作温度范围 | -20 ～ 80 | μ m±20% |
| MPT-6JRI001 | 单 位 | |
| 运动自由度 | X Y Z θx θy θz | μ m±20% |
| 直线运动范围 | 20 | mrad±20% |
| 转角范围 | 0.5 | nm |
| 位移分辨率 | 2 | nm |
| 重复定位精度 | 20 | N/μm±20% |
| 刚度 | 50 | Kg |
| 最大负载 | 5 | Hz±20% |
| 固有频率 | 1500 | ℃ |
| 工作温度范围 | -20 ～ 80 | μ m±20% |