压电陶瓷驱动六自由度精密并联机器人



产品型号
RBT - 6JR01P

技术指标
 ·型号：RBT-HJR01P
·用途：精密定位技术
·特点：
  采用压电陶瓷作为驱动元件；
  结构简单，控制方便；
  压电陶瓷中内置的位移传感器，可以实现较高的闭环控制精度；
  采用柔性球铰。
·性能指标：X、Y、Z方向行程：±15μm ；
            θx、θy、θz、转动：±0.5mrad ；
            运动分辨率：2nm ；
            重复定位精度：20nm 。